SJ6000激光干涉儀采用高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出；采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量，并進行動態分析。 

SJ6000激光干涉儀性能特點：

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

SJ6000激光干涉儀功能：

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉軸等參數的精密測量，并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態性能分析。

在相關軟件的配合下，可自動生成誤差補償方案，為設備誤差修正提供依據。

SJ6000激光干涉儀技術參數：

      系統性能

²    測量方式：單頻

²    穩頻精度：0.05ppm

²    動態采集頻率：50 kHz

²    預熱時間：約6分鐘

²    工作溫度范圍：(0~40)℃

²    環境溫度范圍：(0~40)℃，環境濕度：(0~95)%RH

²    存儲溫度范圍：(-20~70)℃

      環境補償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性測量

²    測量距離：(0~40)m

²    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力：1nm

²    測量*大速度：4m/s

      角度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±10°

²    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測量分辨力：0.1″

      平面度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量范圍：±1.5 mm

²    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

      直線度測量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

²    軸向量程：(0.1~3.0)m

測量范圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm/m

      回轉軸精度測量

²    角度測量范圍：(0~360)°

²    測量精度：±1″

*高轉速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳輸數據。

 SJ6000激光干涉儀配置清單：

序號	名稱	明細	備注
1	SJ6000主機	1臺，配云臺	標配
2	環境補償單元	1套，配1個空氣溫度探頭和3個材料溫度探頭	標配
3	筆記本電腦	1臺，配測量軟件	標配
4	便攜式拉桿箱	1個，尺寸：560mm×460mm×270mm	標配
5	通用三腳架	1個	標配
6	線性鏡組	線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個	標配
7	鏡組安裝配件	磁性座2個	標配
		安裝柱4節
		輔助安裝塊2塊
		夾緊塊2個(帶鎖緊螺絲)
		測頭夾具1個(內徑：φ32mm)	選配
8	輕型線性附件	小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個	選配
9	遠距離線性附件	大角錐反射鏡、遠距離分光鏡，各1個	選配
10	可調轉向鏡	可調轉向鏡1個	選配
11	角度鏡組	角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個	選配
12	平面度鏡組	平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用	選配
		平面度反射鏡2個
		180mm可調基板、360mm可調基板，各1個
13	直線度鏡組	直線度干涉鏡、直線度反射鏡，各1個	選配
		直線度附件1套
14	垂直度鏡組	垂直度鏡組需要與直線度鏡組組合使用	選配
		光學直角尺、垂直度安裝三腳架，各1個
15	高精密轉臺	鋰電池供電，藍牙傳輸	選配
16	工作服	夏、冬實驗室工作服各1件	選配