借由串珠狀活性碳之三次元纖維構造，可以減低壓力損失并高效率去除氣體，得以更進一步實現LSI之超微細加工所需要的清凈化。

 

內容

 

選用化學濾網(Chemical Filter)

改善被污染分子的無塵室

長期性能確認試驗數據介紹

GIGASORB規格

外型尺寸 590x1080x100mm

GIGASORB 220mm x 3層

(A,L,C各一層)

接觸時間 0.037秒 X 3

(0.11秒)

外框 鋁材

ULPA規格

外型尺寸 610x1220x85mm

效率 >99.9995%

濾材 硼矽酸鹽玻璃纖維

型式 迷你折疊標準品

檢查 用Clean Silica粒子掃瞄