2、非接觸式加工，無機械應力，提高芯片質量
3、CCD快速定位功能，實時同軸監視或旁軸監視功能
4、高精度二維直線運動平臺，高精度DD旋轉平臺
5、大理石基臺，穩定可靠，熱變形小
6、精密數控系統
7、全中文操作界面，操作直觀、簡易，界面良好
8、劃線工藝專家系統
9、高可靠性和穩定性
10、激光器：IR/UV（選配）
技術參數
| 激光類型 |
紅外（IR） |
紫外（UV） |
|
性能
|
TH-5221/6212 |
TH-5210 |
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激光波長
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1064nm |
355nm |
| 激光功率 |
20W/30W |
5W/17W |
|
*大加工晶圓尺寸
|
4英寸 |
6英寸 |
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劃線速度
|
150mm/s |
30mm/s |
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劃線線寬
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40~55um
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20~30um
|
|
劃線線深
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50~120um |
50~100um |
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系統定位精度
|
5um |
5um |
| 重復定位精度 |
2um |
2um |
| 激光器使用壽命 |
10萬小時 |
1.2萬小時 |
應用領域
廣泛應用于集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控硅晶圓的劃線切割，以及Low-K材料的開槽切割
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