Whiteknight白騎士PEM 050電動計量泵，Whiteknight隔膜式計量泵
White Knight 計量泵提供在單晶片處理工具或預混容器使用，以確保一定濃度的化學混合物，并且允許在原位直接在頭部混合調節流速。 泵是在高純化學品的適用分配補充，混合，計量等應用，以及清洗CVD設備和光刻。 他們是理想的光致抗蝕劑，蝕刻和清洗工藝，食人魚過氧化混合物扣球，和之前推出基板化學混合物進入處理槽等混合。
PEM 050電動計量泵
PEM 050電動計量儀特性
PEM050泵有Teflon PTFE液體通路可準確地分配1至50毫升的腐蝕性液體為補充、混合、計量、和強化的程序。 使用TeflonPTFE活動的膜片、較高的出口壓力可以安全可靠的輸送化學品。位置控制閥確保精度減緩脈沖,特別是單向閥。 PEM050泵可提供多達5個出液口,以編程系統和邏輯獨立控制。
· 電控可調式行程
· 配液量高達50毫升
· 高精度泵具有高達±0.01%重復性
· 允許60-80psi壓力
· 可編程序系統邏輯
· 2到6接口配置
特點與優點
· 完全可調的行程速度
· 安全、無泄漏操作，不需要維護
· 無暴露的金屬防止腐蝕和污染
· 高純度化學品完全包攬Teflon® PTFE流體通道
· PP外殼的Teflon® PTFE材質的旋轉膜片
· 易于安裝和檢查
· 嵌入或外掛的組件易于安裝和維護
· 易于安裝在任意方向
· 潔凈室內組裝，測試及包裝
· 泄漏檢測口
· 自吸式
· 占用空間小
· 極限小的保持量
· 正面的進/出口閥可防止氣體通過
技術參數
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泵型號
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PEM050
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液分配
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1-50 ml per stroke
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測量重復度
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± 0.01% (Full Scale)
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每分鐘循環次數
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≤ 6 CPM
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每個循環內空氣的消耗量
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1-3 SCFM
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流通管路材質
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PTFE
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閥門控制驅動氣體的壓力
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4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 psi)
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排液壓力
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5.51 Bar (80 psi)
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溫度范圍
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≤ 100°C (212°F)
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重量
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1.6 kg (3.5 lb)
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吸升高度
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4.6 m (15 ft)
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漏液檢測
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Valve Position Sensing
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通信
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Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
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